주요사업분야

고객 만족을 위해 최선을 다하겠습니다.

반도체

> 주요사업분야 > 반도체

반도체

STOCKER
- 반도체 FAB 공정 내 FOUP 재고관리, 물동량을 제어, 반입/반출/저장 시스템
AGV
- 정의된 경로를 따라 자체 동력으로 동작 및 이동하는 자재 운반 시스템
CLEANER
- 고순도 약품을 사용하여 Wafer 표면의 금속 오염물 또는 입자들의 제거 시스템

  • 1. AGV SYSTEM PLC ACTION CONTROL

  • 2. SOLAR PECVD LOADER/UNLOADER SYSTEM