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STOCKER
- 고정형 주행 RAIL 방식
CONVEYOR
- Glass Cassette/Mask Case/Mask의 이동 시스템
ROBOT
- Loader / Un-Loader 시스템

  • 1. LCD INLINE TRANSFER SYSTEM

  • 2. OLED CVD CLUSTER SYSTEM

  • 3. OLED VACUUM BUFFER CHAMBER SYSTEM

  • 4. LCD PRE BAKE OVEN SYSTEM

5. BATCH OXIDE FURNACE OVEN SYSTEM